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华人时刊·中旬刊2016年第1期  文章正文

二元光学元件的原理与应用

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  【摘要】本文简要介绍了二元光学元件的设计原理及制作工艺,对其应用领域和发展前景作了简要分析。

  【关键词】二元光学;衍射理论;傅立叶光学;二次量化

  中图分类号:o43文献标识码:a文章编号:1006-0278(2016)01-190-01

  一、引言

  80年代中期,美国mit林肯实验室的威尔得坎普率先提出了“二元光学”的概念,二元光学有别于传统光学元件制造方法,基于衍射光学的原理,元件表面采用浮雕结构,制造上可以采用现有集成电路生产方法,由于采用二元掩模故称为二元光学。关于二元光学的准确定义,至今还没有统一的看法, ……阅读全文

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